Pendant la Révolution française, le 7 septembre 1789, l'abbé Sieyès propose à l'Assemblée nationale l'élaboration d'un plan de réorganisation administrative du royaume.

La création de départements fut actée le 26 février 1790, et leur existence prit effet le 4 mars 1790.

Le nombre de départements évolua au cours de l'histoire française. Initialement de 83, il grimpe à 130 en 1810 au gré des conquêtes révolutionnaires puis napoléoniennes.

La Restauration conservera les départements et en 1860, la France en comptait 89.

La perte de l'Alsace-Lorraine entraînera la création d'un nouveau département, la Meurthe-et-Moselle (constituée des parties des départements de Meurthe et de Moselle restées françaises) ; ce département subsistera après le retour de l'Alsace-Lorraine en 1918. Le Territoire de Belfort, (partie du département du Haut-Rhin restée française), garda un statut spécial de 1871 à 1922, année où il devint un département. En 1902, les trois territoires civils d'Algérie deviennent 3 départements : Alger, Oran et Constantine. Entre 1955 et 1959, ces trois départements sont subdivisés, voyant la création de 12 autres départements. En 1957, le Sud-Est départementalisé avec la création de deux départements du Sahara. Tous ces départements disparaîtront avec l'indépendance de l'Algérie en 1962.

En 1946 sont créés 4 départements d'outre-mer (DOM) : la Guadeloupe, la Guyane française, la Martinique et La Réunion.

La réorganisation de la région parisienne en 1964, effective en 1968, transforme les deux départements de la Seine et de la Seine-et-Oise en sept départements : Paris, Yvelines, Essonne, Hauts-de-Seine, Seine-Saint-Denis, Val-de-Marne et Val-d'Oise.

En 1976, le département de la Corse est scindé en deux départements : Corse-du-Sud et Haute-Corse, et Saint-Pierre-et-Miquelon devient le cinquième département d'Outre-mer, statut qu'il abandonne en 1985 pour devenir une collectivité d'outre-mer.

En 2011, Mayotte, devient le 101e département français.